1.

国際会議録
国際会議録
1. Chemical Mechanical Polishing of SiCOH-Based Low-k Dielectrics
W. Tseng ; A. Sakamoto ; S. Ponoth ; D. Hong ; L. Economikos ; S. Vogt ; A. Ticknor ; S. Cohen ; M. Krishnan ; R. Wanner ; B. Kim
出版情報: Dielectrics for nanosystems II: materials science, processing, reliability, and manufacturing.  pp.227-236,  2006.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 2(1)
2.

国際会議録
国際会議録
2. Study of Inhibition Characteristics of Slurry Additives in Copper CMP Using Force Spectroscopy
M. K. Keswani ; H. Lee ; S. Babu ; U. Patri ; Y. Hong ; L. Economikos ; M. Goldstein ; L. Borucki ; A. Philipossian ; Y. Zhuang
出版情報: Silicon materials science and technology X.  pp.515-522,  2006.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 2(2)
3.

国際会議録
国際会議録
3. A Single Top Surface Metallurgy for Solder Flip Chip, Wirebond and TAB Interconnections
H.M. Clearfield ; M.J. Interrante ; D.J. Tudryn ; L. Economikos
出版情報: 27th International Symposium on Microelectronics : 15-17 November 1994, Boston, Massachusetts.  pp.485-490,  1994.  Bellingham, WA.  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2369