1.

国際会議録
国際会議録
1. Numerical Investigation of Feedback Control in Plasma Processing Reactors
Rauf, S. ; Kushner, M.J.
出版情報: Proceedings of the Second International Symposium on Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing.  pp.245-250,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-9
2.

国際会議録
国際会議録
2. Monte Carlo Simulations of the Electrodeposition of Copper
Pricer, T.J. ; Kushner, M.J. ; Alkire, R.C.
出版情報: Fundamental aspects of electrochemical deposition and dissolution : proceedings of the international symposium.  pp.328-334,  1999.  Pennington, New Jersey.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-33
3.

国際会議録
国際会議録
3. Electrodynamic modeling of the ElectriCOIL system
Zimmerman, J.M. ; Skorski, L.W. ; Solomon, W.C. ; Kushner, M.J. ; Verdeyen, J.T. ; Carroll, D.L.
出版情報: Gas and Chemical Lasers and Intense Beam Applications IV.  pp.81-86,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4971