1.

国際会議録
国際会議録
1. Novel fiducial grid for x-ray masks
Soo,C.P. ; Chandra,S. ; Kong,J.R. ; Bourdillon,A.J. ; Lu,B.
出版情報: Emerging lithographic technologies III : 15-17 March 1999, Santa Clara, California.  Part1  pp.63-69,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3676
2.

国際会議録
国際会議録
2. Transmission electron microscopy of defects in NMOS and PMOS structures
Bourdillon,A.J. ; Koh,Y.G. ; Chiang,S.L. ; Lim,C.W. ; Kong,J.R. ; Guobing,C.
出版情報: Microlithographic Techniques in IC Fabrication.  pp.236-242,  1997.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3183