1.

国際会議録

国際会議録
Pforr, R. ; Ahrens, M. ; Dettmann, W. ; Hennig, M. ; Koehle, R. ; Ludwig, B. ; Morgana, N. ; Thiele, J.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part One  pp.232-243,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
2.

国際会議録

国際会議録
Chen, Y.-T. ; Meute, J. ; Dean, K.R. ; Stark, D.R. ; Schilz, C.M. ; Dettmann, W. ; Koehle, R. ; Schiessl, B. ; Degel, W.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part One  pp.618-628,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
3.

国際会議録

国際会議録
Koehle, R. ; Dettmann, W. ; Verbeek, M.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology X.  pp.545-554,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5130
4.

国際会議録

国際会議録
Dettmann, W. ; Heumann, J.P. ; Hagner, T. ; Koehle, R. ; Rahn, S. ; Verbeek, M. ; Zarrabian, M. ; Weckesser, J. ; Hennig, M. ; Morgana, N.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology X.  pp.415-422,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5130
5.

国際会議録

国際会議録
Griesinger, U.A. ; Dettmann, W. ; Hennig, M. ; Heumann, J.P. ; Koehle, R. ; Ludwig, R. ; Verbeek, M. ; Zarrabian, M.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology IX.  pp.410-421,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4754
6.

国際会議録

国際会議録
Pforr, R. ; Hennig, M. ; Koehle, R. ; Morgana, N. ; Thiele, J. ; Weckesser, J.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.212-221,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
7.

国際会議録

国際会議録
Teuber, S. ; Higashikawa, I. ; Urbach, J.-P. ; Schilz, C.M. ; Koehle, R. ; Zibold, A.M.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.1648-1657,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377