1.

国際会議録
国際会議録
1. KINETICS OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF COOPER FROM (β-diketonate) CuL PRECURSORS
Jain, Ajay ; Chi, K M. ; Kodas, T. T. ; Hampden-smith, M. J.
出版情報: Advanced metallization and processing for semiconductor devices and circuits--II : symposium held April 27-May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.113-118,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 260
2.

国際会議録
国際会議録
2. MASS SPECTROMETRIC STUDY OF LASER-INDUCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF GOLD
Kodas, T. T. ; Comita, P. B.
出版情報: Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA.  pp.249-254,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 101
3.

国際会議録
国際会議録
3. CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF COPPER FROM METAL-ORGANIC COPPER ( I ) PHOSPHINE COMPLEXES
Shin, H. -K. ; Hampden-Smith, M. J. ; Kodas, T. T. ; Duesler, E.. N. ; Farr, J. D. ; Paffett, M.
出版情報: Thin film structures and phase stability : symposium held April 16-17, 1990, San Francisco, California, U.S.A..  pp.193-198,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 187
4.

国際会議録
国際会議録
4. NEW APPROACHED FOR DRY ETCHING METAL OXIDES AT LOW TEMPERATURE AND HIGH RATES
Rousseau, Francois ; Jain, A. ; Perry, L. ; Kodas, T. T. ; Hampden-Smith, M. J. ; Paffett, M. ; Muenchausen, R.
出版情報: Materials modification by energetic atoms and ions : symposium held April 28-30, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.59-62,  1992.  Pittsburgh, PA.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 268
5.

国際会議録
国際会議録
5. Gas-phase generation of nanometer-sized metal particles for fabrication of zero-dimensional quantum structures
Pluym, Tammy C. ; Kodas, T. T. ; Wang, L. M. ; Wiedensohler, A. ; Hansson, H. C. ; Maximov, I. ; Samuelson, L.
出版情報: III-V electronic and photonic device fabrication and performance : symposium held April 12-15, 1993, San Francisco, California, U.S.A..  pp.465-,  1993.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 300
6.

国際会議録
国際会議録
6. AEROSOL ROUTES TO PEROVSKITE PHASE MIXED METAL OXIDES
Chandler, C. D. ; Powell, Q. ; Hampden-Smith, M. J. ; Kodas, T. T.
出版情報: Ferroelectric thin films III : symposium held April 13-16, 1993, San Francisco, California, U.S.A..  pp.351-,  1992.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 310
7.

国際会議録
国際会議録
7. Characteristics of Cu-Pd Films Grown by Simultaneous Chemical Vapor Deposition from Metalorganic Precursors
Bhaskaran, V. ; Atanasova, P. ; Hampden-Smith, M. J. ; Kodas, T. T.
出版情報: Advanced metallization for future ULSI : symposium held April 8-11, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.231-,  1996.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 427
8.

国際会議録
国際会議録
8. Utilization of β-diketones for etching and cleaning of metal oxide and sulfide thin films
Droes, Steven R. ; Jain, A. ; Kodas, T. T. ; Hampden-Smith, M. J. ; Muenchausen, R.
出版情報: III-V electronic and photonic device fabrication and performance : symposium held April 12-15, 1993, San Francisco, California, U.S.A..  pp.471-,  1993.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 300
9.

国際会議録
国際会議録
9. PASSIVATION OF SILICON DIOXIDE SURFACE HYDROXYL GROUPS TO CONTROL SELECTIVITY DURING CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF COPPER FROM COPPER(I) COMPOUNDS
Jain, Ajay ; Farkas, J. ; Kodas, T. T. ; Hampden-Smith, M. J. ; Gelatos, A. V. ; Marsh, R. ; Mogab, C. J.
出版情報: Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing.  pp.105-,  1993.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 315
10.

国際会議録
国際会議録
10. FTIR STUDIES OF SILICA SURFACE PASSIVATION AND SUBSEQUENT ADSORPTION/DESORPTION BEHAVIOR OF COPPER METALORGANIC PRECURSORS
Farkas, Janos ; Kodas, T. T. ; Hampden-Smith, M. J.
出版情報: Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing.  pp.97-,  1993.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 315