1.

国際会議録
国際会議録
1. The Texture Effect on Diffusion Barrier Property on TiN Films between Copper and Si Wafer
Sung, D. Y. ; Kim, I. ; Lee, M. G. ; Park, N. J. ; Yang, B. ; Yang, J. M. ; Ko, J. K.
出版情報: Textures of materials : ICOTOM 14 : Proceedings of the 14th International Conference on Textures of Materials, held in Leuven, Belgium, July 11-15, 2005.  pp.1371-1376,  2005.  Uetikon-Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 495-497(2)
2.

国際会議録
国際会議録
2. The Texture and Property of Diffusion Barrier of TiN Thin Films
Sung, D. Y. ; Kim, I. ; Lee, M. G. ; Yang, B. ; Yang, J. M. ; Ko, J. K.
出版情報: PRICM 5 : the Fifth Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing, November 2-5, 2004, Beijing, China.  pp.1865-1868,  2005.  Uetikon-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 475-479(3)