1.

国際会議録
国際会議録
1. Improvement of structural integrity of mesoporous molecular sieves for practical applications
Ryoo, R. ; Kim, J. M. ; Ko, C. H.
出版情報: Mesoporous molecular sieves 1998 : proceedings of the first international symposium, Baltimore, MD, U.S.A., July 10-12, 1998.  pp.151-,  1998.  Amsterdam.  Elsevier
シリーズ名: Studies in surface science and catalysis
シリーズ巻号: 117
2.

国際会議録
国際会議録
2. Correlation of scatterometry sensitivities to variation in device parameters [6152-55]
Ko, C. H. ; Ku, Y. ; Smith, N.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XX.  pp.615220-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6152
3.

国際会議録
国際会議録
3. Influence of semiconductor manufacturing process variation on device parameter measurement for angular scatterometry [6152-56]
Wang, S. C. ; Ku, Y. S. ; Shyu, D. M. ; Ko, C. H. ; Smith, N.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XX.  pp.61521J-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6152