1.

国際会議録

国際会議録
Hergenrother, J.M. ; Nigani, T. ; Wilk, O.D. ; Klemens, F.P. ; Monroe, D. ; Sorsch, T.W. ; Busch, B. ; Green, M.L. ; Muller, D.A. ; Voyles, P.M. ; Grazul, J.L. ; Shero, E.J. ; Givens, M.E. ; Pomarede, C. ; Mazanecand, M. ; Werkhoven, C.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.929-942,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
2.

国際会議録

国際会議録
Hergenrother, J.M. ; Nigani, T. ; Wilk, O.D. ; Klemens, F.P. ; Monroe, D. ; Sorsch, T.W. ; Busch, B. ; Green, M.L. ; Muller, D.A. ; Voyles, P.M. ; Grazul, J.L. ; Shero, E.J. ; Givens, M.E. ; Pomarede, C. ; Werkhoven, M.Mazanecand C.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.929-942,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
3.

国際会議録

国際会議録
Klemens, F.P. ; Baumann, F.H. ; Kornblit, A. ; Layadi, N. ; Lee, H. ; Maynard, H.L. ; Mytych, J.M. ; Sorch, T.W. ; Tennant, D.M. ; Timp, G.L. ; Lee, J.T.C.
出版情報: Proceedings of the International Symposium on Thin Film Materials, Processes, Reliability, and Applications, Thin Film Processes.  pp.85-95,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-30
4.

国際会議録

国際会議録
Hergenrother, J.M. ; Oh, S.H. ; Nigam, T. ; Monroe, D. ; Klemens, F.P. ; Kornblit, A. ; Baumann, F.H. ; Grazul, J.L. ; Johnson, R.W. ; King, C.A. ; Kleiman, R.N.
出版情報: Rapid thermal and other short-time processing technologies II : proceedings of the international symposium.  pp.381-392,  2001.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-9
5.

国際会議録

国際会議録
Lee, J.T.C. ; Colonell, J.J. ; Klemens, F.P. ; Baumann, F.H. ; Kornblitt, A. ; Lee, H. ; Maynard, H.L. ; Sorsch, T.W. ; Timp, G.L. ; Layadi, N. ; Malyshev, M.V. ; Donnelly, V.M. ; Ciampa, N.A.
出版情報: Proceedings of the twelfth International Symposium on Plasma Processing.  pp.1-12,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-4
6.

国際会議録

国際会議録
Oh, Sang-Hyun ; Hergenrdther, Jack ; Monroe, Don ; Nigam, T. ; Klemens, F.P. ; Kornblit, A. ; Mansfield, W.M. ; Baumaun, F.H. ; Gossmann, H.J. ; King, C.A. ; Kleiman, R, N. ; Vuong, H.-H. ; Weber, G.R. ; Rafferty, C.S.
出版情報: Si front-end processing - physics and technology of dopant-defect interactions II : symposium held April 24-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A..  pp.B3.2-,  2001.  Warrendale, PA.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 610
7.

国際会議録

国際会議録
Lopez, D.O. ; Pardo, F. ; Aksyuk, V.A. ; Simon, M.E. ; Shea, H.R. ; Marom, D.M. ; Neilson, D.T. ; Cirelli, R.A. ; Klemens, F.P. ; Mansfield, W.M. ; Fetter, L.A. ; Bower, E. ; Miner, J.F. ; Sorsch, T.W.
出版情報: Smart Sensors, Actuators, and MEMS.  2  pp.445-455,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5116
8.

国際会議録

国際会議録
Pardo, F. ; Aksyuk, V.A. ; Arney, S. ; Bair, H. ; Basavanhally, N.R. ; Bishop, D.J. ; Bogart, G.R. ; Bolle, C.A. ; Bower, J.E. ; Carr, D. ; Chan, H.B. ; Cirelli, R.A. ; Ferry, E. ; Frahm, R.E. ; Gasparyan, A. ; Gates, J.V. ; Giles, C.R. ; Gomez, L. ; Goyal, S. ; Greywall, D.S. ; Haueis, M. ; Keller, R.C. ; Kim, J. ; Klemens, F.P.
出版情報: Smart Sensors, Actuators, and MEMS.  2  pp.435-444,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5116