1.

国際会議録
国際会議録
1. Aluminum Wiring Reliability of Fluorinated Amorphous Carbon Interlayer
Iguchi, M. ; Matsubara, Y. ; Ito, S. ; Endo, K. ; Koyanagi, K. ; Kishimoto, K. ; Gomi, H. ; Tatsumi, T. ; Horiuchi, T.
出版情報: Low-dielectric constant materials IV : symposium held April 14-16, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.341-,  1998.  Warrendale, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 511
2.

国際会議録
国際会議録
2. Particle-Induced and Photoconductivities in Amorphous Si:H Under Proton Irradiation
Kishimoto, K. ; Amekura, H. ; Kono, K. ; Saito, T.
出版情報: Microstructure evolution during irradiation : symposium held December 2-5, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.679-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 439
3.

国際会議録
国際会議録
3. Integration Issues for Low-Dielectric Constant Materials in Each Generation of ULSIs
Gomi, H. ; Kishimoto, K. ; Usami, T. ; Koyanagi, K-I. ; Yokoyama, T. ; Oda, N. ; Matsubara, Y.
出版情報: Advanced interconnects and contacts : symposium held April 5-7, 1999, San Francisco, California, U.S.A..  pp.509-,  1999.  Warrendale, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 564
4.

国際会議録
国際会議録
4. Integration Issues for Low-Dielectric Constant Materials in Each Generation of ULSIs
Gomi, H. ; Kishimoto, K. ; Koyanagi, K-I. ; Matsubara, Y. ; Oda, N. ; Usami, T. ; Yokoyama, T.
出版情報: Low-dielectric constant materials V : symposium held April 5-8, 1999, San Francisco, California, U.S.A..  pp.161-172,  1999.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 565
5.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
5. Gas turbine inlet air cooling system with liquid air
Tanaka, T. ; Ishikawa, A. ; Aoyama, K. ; Kishimoto, K. ; Yoshida, Y. ; Toda, K. ; Atsumi, M. ; Kawamura, H.
出版情報: A.S.M.E. paper.  1998.  New York.  The American Society of Mechanical Engineers
シリーズ名: ASME Technical Paper : GT
シリーズ巻号: 1998
6.

国際会議録
国際会議録
6. Technology mapping technique for throughput enhancement of character projection equipment [6151-36]
Sugihara, M. ; Takata, T. ; Nakamura, K. ; Inanami, R. ; Hayashi, H. ; Kishimoto, K. ; Hasebe, T. ; Kawano, Y. ; Matsunaga, Y. ; Murakami, K. ; Okumura, K.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies X.  pp.61510Z-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6151
7.

国際会議録
国際会議録
7. Data conversion system for character projection-type low-energy electron beam direct writing system [6151-79]
Inanami, R. ; Kishimoto, K. ; Nakai, K. ; Ichioka, K. ; Kitamura, K. ; Yamada, R.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies X.  pp.615126-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6151