Skip to main content
東京工業大学附属図書館
文献データベース
図書館トップページ
電子ジャーナルリスト
オンラインリクエスト
新着図書
新着雑誌
蔵書検索
文献DB
資料名DB
横断検索
貸出ランキング
東工大ブックレビュー
ヘルプ
English
日本語
English
日本語
東京工業大学附属図書館が所蔵する国際会議録に収録された論文、テクニカルペーパーの文献情報を検索できます。
学内の方は、SwetScan（約17,000タイトルの外国雑誌の目次情報）もあわせて検索できます。
＊ SwetScanの検索結果には、当館が所蔵していない資料も含まれます。
検索に使用されるデータベース一覧
検索条件をリセット
同じキーワードで他のサイトを検索できます。
CiNii Books
NDL Search
WebcatPlus
amazon
カーリル
WorldCat
絞り込み検索
タイトル：
著者名：
ISSN / ISBN / ペーパー番号：
掲載資料名：
出版者：
発行年：
～
並び替え
関連度
タイトル(昇順)
タイトル(降順)
著者名（昇順）
著者名（降順）
発行年（新しい順）
発行年（古い順）
掲載資料名(昇順)
掲載資料名(降順)
検索条件をリセット
資料種別：
国際会議録
テクニカルペーパー
学術雑誌
選択:
全てをチェック
|
全てのチェックをはずす
表示順選択
並び替え
関連度
タイトル(昇順)
タイトル(降順)
著者名（昇順）
著者名（降順）
発行年（新しい順）
発行年（古い順）
掲載資料名(昇順)
掲載資料名(降順)
検索結果:
3
件
1.
国際会議録
国際会議録
1.
Hydrogen Content and Permeability of Thin CVD Silicon Nitride and Oxynitride Layers
Kirchhoff, M. ; Cote, D. ; Hauf, M. ; Nguyen, S. ; Hoesler, W.
出版情報:
Chemical vapor deposition : proceedings of the Fourteenth International Conference and EUROCVD-11
. pp.1230-1237, 1997. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
97-25
2.
国際会議録
国際会議録
2.
Advanced LPCVD BPSG Deposition for Sub-0.25μm Microelectronic Fabrication
Ilg, M. ; Kirchhoff, M. ; Nguyen, S.
出版情報:
Proceedings of the Thirteenth International Symposium on Chemical Vapor Deposition
. pp.863-868, 1996. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
96-5
3.
国際会議録
国際会議録
3.
Evaluation of Different CVD BPSG Layers for 64M Dram Processing
Kirchhoff, M. ; Ilg, M. ; Cote, D.
出版情報:
Proceedings of the Thirteenth International Symposium on Chemical Vapor Deposition
. pp.856-862, 1996. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
96-5
しぼり込み条件:
著者名: Kirchhoff, M.
言語
英語
(3)
発行年
1990-1999
(3)
資料種別
国際会議録
(3)
著者名
Cote, D.
(2)
Ilg, M.
(2)
Nguyen, S.
(2)
Hauf, M.
(1)
Hoesler, W.
(1)
図書館トップページ
国際会議録
