1.

国際会議録
国際会議録
1. Comparative study of chromeless and attenuated phase shift mask for 0.3-k1 ArF lithography of DRAM
Eom, T.-S. ; Lim, C.-M. ; Kim, S.-M. ; Kim, H.-B. ; Oh, S.-Y. ; Ma, W.-K. ; Moon, S.-C. ; Shin, K.S.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part Three  pp.1310-1320,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
2.

国際会議録
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2. 0.33-k1 ArF lithography for 100-nm DRAM
Bok, C.K. ; Kim, S.-K. ; Kim, H.-B. ; Oh, J.-S. ; Ahn, C.-N. ; Shin, K.-S.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part Two  pp.810-821,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
3.

国際会議録
国際会議録
3. Optical lithography simulation considering impact of mask errors
Kim, H.-B. ; Ma, W.-K. ; Ahn, C.-N. ; Shin, K.-S.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part Two  pp.1278-1286,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
4.

国際会議録
国際会議録
4. Double-exposure strategy using OPC and simulation and the performance on wafer with sub-0.10-μm design rule in ArF lithography
Oh, S.-Y. ; Kim, W.-H. ; Yune, H.-S. ; Kim, H.-B. ; Kim, S.-M. ; Ahn, C.-N. ; Shin, K.-S.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part Two  pp.1537-1543,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
5.

国際会議録
国際会議録
5. Defect printability and specification of ArF mask in repeating feature
Kim, W.-H. ; Ma, W.-K. ; Kim, H.-B.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part Two  pp.1357-1365,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691