1.

国際会議録
国際会議録
1. *FABRICATION OF Si-GATE CMOS DEVICES IN A HETEROEPITAXIAL Si/CaF2/Si STRUCTURE
Onoda, H. ; Sasaki, M. ; Katoh, T. ; Hirashita, N.
出版情報: Heteroepitaxy on silicon II : symposium held April 21-23, 1987, Anaheim, California, U.S.A..  pp.349-358,  1987.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 91
2.

国際会議録
国際会議録
2. Effects of Abrasive Morphology and Surfactant in Nano-Ceria Slurry for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Poliahing
Kang, H.-G. ; Katoh, T. ; Lee, W.-M. ; Paik, U. ; Park, J.-G.
出版情報: Chemical Mechanical Planarization : proceedings of the International Symposium.  pp.215-222,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-21
3.

国際会議録
国際会議録
3. Effect of Slurry Characteristics on Nanotopography Impact in Chemical Mechanical Polishing
Katoh, T. ; Kim, S.-J. ; Paik, U. ; Park, J.-G.
出版情報: Chemical Mechanical Planarization : proceedings of the International Symposium.  pp.190-198,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-21
4.

国際会議録
国際会議録
4. Nanotopography Effect of Improved Single-Side-Polished Wafer on Oxide CMP
Katoh, T. ; Park, J.-G. ; Park, J.-H. ; Paik, U.-G.
出版情報: Chemical Mechanical Planarization : proceedings of the International Symposium.  pp.193-201,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-1
5.

国際会議録
国際会議録
5. Spectral Analysis Method for Nanotopography Impact on Pad and Removal Depth Dependency in Oxide CMP
Park, J.-G. ; Katoh, T. ; Yoo, H-C. ; Paik, U.-G.
出版情報: Chemical Mechanical Planarization : proceedings of the International Symposium.  pp.202-209,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-1
6.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
6. Verification Test of Semi-Freejet Method for a Supersonic Engine Test Facility
Taguchi, H. ; Sekine, S. ; Futamura, H. ; Yanagi, R. ; Omi, J. ; Katoh, T.
出版情報: AIAA paper.  pp.1-9,  2000.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference and Exhibit
シリーズ巻号: 2000