1.

国際会議録

国際会議録
Fornaciari, N.R. ; Bender, H. ; Buchenauer, D. ; Dimkoff, J.L. ; Kanouff, M.P. ; Karim, S. ; Romeo, C. ; Shimkaveg, G.M. ; Silfvast, W.T. ; Stewart, K.D.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VI.  Part One  pp.110-121,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4688
2.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Knorovsky.G.A. ; MacCallum, D.O. ; Kanouff, M.P. ; Fuerschbach, P.W.
出版情報: SME technical paper.  2001.  Society of Manufacturing Engineers