1.

国際会議録
国際会議録
1. Application of PGSD (proximity gap suction development) to 70 nm NAND mask fabrication
Sakurai, H. ; Shibata, T. ; Itoh, M. ; Ooishi, K. ; Funakoshi, H. ; Okamoto, Y. ; Oono, S. ; Kaneda, M. ; Kamei, S. ; Hayashi, N.
出版情報: EMLC 2005 : 21st European Mask and Lithography Conference : 31 January-3 February, 2005, Dresden, Germany.  pp.29-36,  2005.  Bellingham, Wash.,.  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5835
2.

国際会議録
国際会議録
2. Porous Materials: Looking Through the Electron Microscope
Terasaki, O. ; Ohsuna, T. ; Liu, Z. ; Kaneda, M. ; Kamiya, S. ; Carlsson, A. ; Tsubakiyama, T. ; Sakamoto, Y. ; Inagaki, S. ; Che, S. ; Tatsumi, T. ; Camblor, M.A. ; Ryoo, R. ; Zhao, D. ; Stucty, G. ; Shindo, D. ; Hiraga, K.
出版情報: Nanoporous Materials III : proceedings of the 3rd International Symposium on Nanoporous Materials, Ottawa, Ontario, Canada, June 12-15, 2002.  pp.27-34,  2002.  Amsterdam.  Elsevier
シリーズ名: Studies in surface science and catalysis
シリーズ巻号: 141
3.

国際会議録
国際会議録
3. Counteranion effect on the formation of mesoporous materials under acidic synthesis process
Che, S. ; Kaneda, M. ; Terasaki, O. ; Tatsumi, T.
出版情報: Nanotechnology in mesostructured materials : proceedings of the 3rd International Mesostructured Materials Symposium, Jeju, Korea, July 8-11, 2002.  pp.431-434,  2003.  Amsterdam.  Elsevier
シリーズ名: Studies in surface science and catalysis
シリーズ巻号: 146
4.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
4. Numerical and Experimental Aerothermodynamics of Strong Hypersonic Shock-Shock Interactions.
Yamamoto, Y. ; Totsuka, A. ; Hozumi, K. ; Kaneda, M. ; Kamishikiryo, S.
出版情報: AIAA paper.  2002.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA/ASME Joint Thermophysics and Heat Transfer Conference
シリーズ巻号: 2002
5.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
5. Study of Complex Three-Dimensional Hypersonic Shock Interactions for Future Re-usable Space Transport System
Yamamoto, Y. ; Totsuka, A. ; Ishiyama, T. ; Kaneda, M. ; Yoshikura, H.
出版情報: AIAA paper.  2003.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Thermophysics Conference
シリーズ巻号: 2003
6.

国際会議録
国際会議録
6. Advanced edge resist remover for photomask
Kobayashi, S. ; Koga, N. ; Mori, Y. ; Kaneda, M.
出版情報: 24th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.1240-1247,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5567
7.

国際会議録
国際会議録
7. More evolved PGSD (proximity gap suction developer) for controlling movement of dissolution products [6349-175]
Sakurai, H. ; Oppata, Y. ; Murano, K. ; Sakai, M. ; Itoh, M. ; Watanabe, H. ; Funakoshi, H. ; Ooishi, K. ; Okamoto, Y. ; Kaneda, M. ; Kamei, S. ; Hayashi, N.
出版情報: Photomask Technology 2006.  pp.63494J-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6349