1.

国際会議録

国際会議録
Chen, Y. ; Kahng, A.B. ; Robins, G. ; Zelikovsky, A.
出版情報: Design, process integration, and characterization for microelectronics : 6-7 March 2002, Santa Clara, USA.  pp.421-432,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4692
2.

国際会議録

国際会議録
Kahng, A.B.
出版情報: Design, process integration, and characterization for microelectronics : 6-7 March 2002, Santa Clara, USA.  pp.390-400,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4692
3.

国際会議録

国際会議録
Ellis, R.B. ; Kahng, A.B. ; Zheng, Y.
出版情報: Design and process integration for microelectronic manufacturing II : 26-28 February 2003, Santa Clara, California, USA.  pp.233-245,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5042
4.

国際会議録

国際会議録
Gupta, P. ; Kahng, A.B. ; Sylvester, D. ; Yang, J.
出版情報: Cost and performance in integrated circuit creation : 27-28 February 2003, Santa Clara, California, USA.  pp.123-133,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5043
5.

国際会議録

国際会議録
Chen, Y. ; Gupta, P. ; Kahng, A.B.
出版情報: Design and process integration for microelectronic manufacturing II : 26-28 February 2003, Santa Clara, California, USA.  pp.75-86,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5042
6.

国際会議録

国際会議録
Babin, S.V. ; Kahng, A.B. ; Mandoiu, I. ; Muddu, S.V.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology X.  pp.718-726,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5130
7.

国際会議録

国際会議録
Babin, S.V. ; Kahng, A.B. ; Mandoiu, I.I. ; Muddu, S.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VII.  2  pp.934-942,  2003.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5037