1.
国際会議録 |
K.-H. Choi ; R. Dittrich ; M. Goldbach ; C. Hohle ; K. Keil
|
|||||||
2.
国際会議録 |
2. Printing of sub-resolution shots in electron beam direct write with variable shaped beam machines
F. Thrum ; J. Kretz ; C. Hohle ; K.-H. Choi ; K. Keil
|
|||||||
3.
国際会議録 |
Y. G. Kim ; M. W. Bang ; S.-Y. Park ; K.-H. Choi ; J. H. Hwang
|