1.
国際会議録
J. Kim ; J. McVittie ; K. Saraswat ; Y. Nishi ; S. Liu
出版情報:
SiGe and Ge, materials, processing, and devices . pp.1191-1196, 2006. Pennington, N.J.. Electrochemical Society
シリーズ名:
ECS transactions
シリーズ巻号:
3(7)
2.
国際会議録
K. Saraswat
出版情報:
SiGe and Ge, materials, processing, and devices . pp.817-821, 2006. Pennington, N.J.. Electrochemical Society
シリーズ名:
ECS transactions
シリーズ巻号:
3(7)
3.
国際会議録
T. Krishnamohan ; D. Kim ; Y. Nishi ; K. Saraswat ; C. Jungemann
出版情報:
SiGe and Ge, materials, processing, and devices . pp.687-695, 2006. Pennington, N.J.. Electrochemical Society
シリーズ名:
ECS transactions
シリーズ巻号:
3(7)
4.
国際会議録
T. Krishnamohan ; A. Pham ; C. Jungemann ; B. Meinerzhagen ; K. Saraswat
出版情報:
SiGe, Ge, and Related Compounds 3: Materials, Processing, and Devices . pp.397-403, 2008. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
ECS transactions
シリーズ巻号:
16(10)
5.
国際会議録
D. Kim ; T. Krishnamohan ; K. Saraswat
出版情報:
SiGe, Ge, and Related Compounds 3: Materials, Processing, and Devices . pp.47-55, 2008. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
ECS transactions
シリーズ巻号:
16(10)
6.
国際会議録
K. Saraswat ; D. Kim ; T. Krishnamohan ; D. Kuzum ; A.K. Okyay
出版情報:
SiGe, Ge, and Related Compounds 3: Materials, Processing, and Devices . pp.3-12, 2008. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
ECS transactions
シリーズ巻号:
16(10)
7.
国際会議録
J. Kim ; K. Saraswat ; Y. Nishi
出版情報:
Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing IX . pp.214-219, 2006. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
ECS transactions
シリーズ巻号:
1(3)
8.
国際会議録
H. Cho ; P. Kapur ; P. Kalavade ; K. Saraswat
出版情報:
Advanced gate stack, source/drain and channel engineering for Si-based CMOS 2: new materials, processes, and equipment . pp.403-414, 2006. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
ECS transactions
シリーズ巻号:
3(2)
9.
国際会議録
H. Yu ; J. Park ; A.K. Okyay ; K. Saraswat
出版情報:
SiGe, Ge, and Related Compounds 3: Materials, Processing, and Devices . pp.823-828, 2008. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
ECS transactions
シリーズ巻号:
16(10)