1.

国際会議録
国際会議録
1. EFFECT OF CORROSION INHIBITOR, lH-BENZOTRJAZOLE (BTAH) ON PARTICLE ADHESION IN Cu CMP
J.-H. Song ; Y.-K. Hong ; T.-G. Kim ; Y.-J. Kang ; I.-K. Kim ; J.-H. Han ; J.-G. Park ; A. A. Busnaina
出版情報: Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing IX.  pp.341-348,  2006.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 1(3)
2.

国際会議録
国際会議録
2. THE EFFECTS OF pH ADJUSTORS IN POST Cu CMP CLEANING SOLUTIONS ON PARTICLE ADHESION AND REMOVAL
Y.-K. Hong ; J.-H. Song ; Y.-J. Kang ; I.-K. Kim ; J.-G. Park ; H.-S. Song ; K.-S. Kim ; J.-J. Myung ; H.-J. Lee ; S.-Y. Song
出版情報: Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing IX.  pp.333-340,  2006.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 1(3)
3.

国際会議録
国際会議録
3. Harmonic quadrature demodulation for extracting the envelope of the second harmonic component
S.-M. Kim ; J.-H. Song ; T.-K. Song
出版情報: Medical imaging 2008, ultrasonic imaging and signal processing : 17-18 February 2008, San Diego, California, USA.  pp.692017-1-692017-10,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6920