1.

国際会議録
国際会議録
1. LPCVD Deposition Techniques for Nanograin Sub-10nm Polysilicon Ultra-Thin Films
Ecoffey, Serge ; Bouvet, Didier ; Ionescu, Adrian M. ; Fazan, Pierre
出版情報: Materials issues in novel si-based technology : symposium held November 26-28, 2001, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.167-172,  2002.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 686
2.

国際会議録
国際会議録
2. Dry Etching Techniques of Amorphous Silicon for Suspended Metal Membrane RF MEMS Capacitors
Fritschi, Raphael ; Hibert, Cyrille ; Fluckiger, Philippe ; Ionescu, Adrian M.
出版情報: BioMEMS and bionanotechnology : symposium held April 1-3, 2002, San Francisco, California, U.S.A..  pp.69-152,  2002.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 729