1.

国際会議録
国際会議録
1. Integration of new alignment mark designs in dual inlaid-copper interconnect processes
Warrick, S.P. ; Hinnen, P.C. ; van Haren, R.J. ; Smith, C.J. ; Megens, H.J. ; Fu, C.-C.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part Two  pp.971-980,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
2.

国際会議録
国際会議録
2. Overlay performance with advanced ATHENA alignment strategies
Huijbregste, J. ; Haren, R.J.F. ; Jeunink, A. ; Hinnen, P.C. ; Swinnen, B. ; Navarro, R. ; Simons, G. ; Bilsen, F. ; Tolsma, H. ; Megens, H.J.L.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII.  2  pp.918-928,  2003.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5038