1.

国際会議録

国際会議録
Hattangady, S. ; Misra, V. ; Yasuda, T. ; Xu, X.L. ; Hornung, B. ; Lucovsky, G. ; Wortman, J.J.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.288-295,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-7
2.

国際会議録

国際会議録
Eason, K. ; Jallepally, R. ; Noble, D. ; Hattangady, S. ; Khamankar, R. ; Rotondaro, A.L.P.
出版情報: Rapid thermal and other short-time processing technologies : proceedings of the international symposium.  pp.195-202,  2000.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-9
3.

国際会議録

国際会議録
Kuehne, J. ; Hattangady, S. ; Piccirillo, J. ; Xing, G. C. ; Miner, G. E. ; Lopes, D.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing VI : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.381-,  1997.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 470
4.

国際会議録

国際会議録
Kuehne, J. ; Hattangady, S. ; Piccirillo, J. ; Xing, G. C. ; Miner, G. ; Lopes, D. ; Tauber, R.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing VII : symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.181-,  1998.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 525
5.

国際会議録

国際会議録
Hattangady, S. ; Xu, X-L ; Watkins, M. J. ; Hornung, B. ; Misra, V. ; Lucovsky, G. ; Wortman, J. J.
出版情報: III-V electronic and photonic device fabrication and performance : symposium held April 12-15, 1993, San Francisco, California, U.S.A..  pp.581-,  1993.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 300