1.

国際会議録
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1. Diamond-ZnS composite infrared window
Fujii,A. ; Wada,H. ; Shibata,K. ; Nakayama,S. ; Hasegawa,M.
出版情報: Window and dome technologies and materials VII : 16-17 April 2001, Orlando, USA.  pp.206-217,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4375
2.

国際会議録
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2. Measurement of absorptance of optical coatings for F2 lithography
Ouchi,C. ; Hasegawa,M. ; Matsumoto,A. ; Sone,K.
出版情報: Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries II : 2-3 August 2001 San Diego, USA.  pp.7-12,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4449
3.

国際会議録
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3. IDEAL double exposure method for polylevel structures
Romeo,C. ; Canestrari,P. ; Fiorino,A. ; Hasegawa,M. ; Saitoh,K. ; Suzuki,A.
出版情報: Optical microlithography XIII : 1-3 March 2000, Santa Clara, USA.  Part1  pp.240-251,  2000.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4000
4.

国際会議録
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4. Printing characteristics of proximity x-ray lithography and comparison with optical lithography for 100-nm node and below
Hasegawa,M. ; Nakayama,Y. ; Yamaguchi,K. ; Terasawa,T. ; Matsui,Y.
出版情報: Emerging lithographic technologies IV : 28 February-1 March 2000, Santa Clara, USA.  pp.96-104,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3997
5.

国際会議録
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5. Practical applications of IDEAL exposure method
Hasegawa,M. ; Saitoh,K. ; Yoshii,M. ; Suzuki,A.
出版情報: 19th Annual Symposium on Photomask Technology : 15-17 September 1999, Monterey, California.  Part1  pp.66-77,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3873
6.

国際会議録
国際会議録
6. Annealing Processes of Vacancies in Silicon Induced by Electron Irradiation:Analysis Using Positron Lifetime Measurement
Kawasuso,A. ; Hasegawa,M. ; Suezawa,M. ; Yamaguchi,S. ; Sumino,K.
出版情報: Positron annihilation : ICPA-10 : Proceedings of the 10th International Conference on Positron Annihilation, May 23-29, 1994, Beijing, China.  Part1  pp.423-426,  1995.  Aederlmannsdorf, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 175-178
7.

国際会議録
国際会議録
7. The Characterization of SiC Hot-Implanted with Ga+
Tanaka,Y. ; Kobayashi,N. ; Hasegawa,M. ; Yoshida,S. ; Ishida,Y. ; Nishijima,T. ; Hayashi,N.
出版情報: Silicon carbide, III-nitrides and related materials, ICSCIII-N'97 : proceedings of the International Conference on Silicon Carbide, III-Nitrides and Related Materials, Stockholm, Sweden, September 1997.  Part2  pp.713-716,  1998.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 264-268
8.

国際会議録
国際会議録
8. Positron-Annihilation 2D-ACAR Study of Divacancy and Vacancy-Oxygen Pairs in Si
Hasegawa,M. ; Chiba,T. ; Kawasuso,A. ; Akahane,T. ; Suezawa,M. ; Yamaguchi,S. ; Sumino,K.
出版情報: Proceedings of the 18th International Conference on Defects in Semiconductors : ICDS-18, Sendai, Japan, July 23-28, 1995.  pp.1481-1490,  1995.  Zurich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 196-201
9.

国際会議録
国際会議録
9. Theoretical Study on Positron 2D-ACAR for Semiconductors
Saito,M. ; Tang,Z. ; Chiba,T. ; Hasegawa,M.
出版情報: Positron annihilation, ICPA-11 : Proceedings of the 11th International Conference on Positron Annihilation, Kansas City, Missouri, USA, May 1997.  pp.184-188,  1997.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 255-257
10.

国際会議録
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10. Positron 2D-ACAR Study of Divacancies in Si:Experiments and Theory
Hasegawa,M. ; Tang,Z. ; Chiba,T. ; Saito,M. ; Kawasuso,A. ; Akahane,T. ; Li,Z.-Q. ; Kawazoe,Y. ; Yamaguchi,S.
出版情報: Positron annihilation, ICPA-11 : Proceedings of the 11th International Conference on Positron Annihilation, Kansas City, Missouri, USA, May 1997.  pp.414-416,  1997.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 255-257