1.

国際会議録
国際会議録
1. SUBSURFACE DAMAGE OF ABRADED SILICON WAFERS
Lundt, H. ; Kerstan, M. ; Huber, A. ; Hahn, P.O.
出版情報: Proceedings of the Seventh International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.218-224,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-10
2.

国際会議録
国際会議録
2. INTRODUCTORY REMARKS - WAFER PREPARATION
Takiguichi, R. ; Hahn, P.O.
出版情報: Proceedings of the Seventh International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.195-196,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-10
3.

国際会議録
国際会議録
3. THERMAL WAVE AND LIGHTSCATTERING MEASUREMENTS ON DIFFERENTLY PROCESSED Si-WAFERS
Gerlach, P. ; Hahn, P.O. ; Schnegg, A. ; Alpern, A. ; Menzel, G.
出版情報: Characterization of the structure and chemistry of defects in materials : symposium held November 28-December 3, 1988, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.267-272,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 138