1.

国際会議録

国際会議録
Henley, W.B. ; Jastrzebski, L. ; Haddad, N.F.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.487-494,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-7
2.

国際会議録

国際会議録
Brady, F.T. ; Sinha, S.P. ; Haddad, N.F. ; Ioannou, D.E.
出版情報: Proceedings of the Sixth International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices.  pp.339-344,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-11