1.

国際会議録

国際会議録
Harame, D. ; Subbanna, S. ; Dunn, J. ; St Onge, S.A. ; Freeman, G. ; Malinowski, J. ; Groves, R. ; Joseph, A. ; Ahlgren, D. ; Johnson, R. ; Zierak, M. ; Coolbaugh, D.
出版情報: ULSI process integration : proceedings of the first international symposium.  pp.143-146,  1999.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-18
2.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Scheeringa, K. ; Schwerin, D. ; Groves, R. ; Zhou, C.Q. ; Cantwell, J.M.R.
出版情報: AIAA paper.  2002.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA/ASME Joint Thermophysics and Heat Transfer Conference
シリーズ巻号: 2002
3.

国際会議録

国際会議録
Vaed, K. ; Graham, W. ; Steen, M. ; Park, J.-E. ; Groves, R. ; Volant, R. ; Nunes, R. ; Vichiconti, J. ; Stein, K. ; Ahlgren, D.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology IX.  pp.74-85,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5342