1.

国際会議録

国際会議録
Grebs, T. ; Ridley, R.S. ; Spindler, J., Sr. ; Cumbo, J. ; Lauffer, J.
出版情報: Electrochemical processing in ULSI fabrication and semiconductor/metal deposition II : proceedings of the international symposium.  pp.185-193,  1999.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-9
2.

国際会議録

国際会議録
Grebs, T. ; Ridley, R. ; Chang, K. ; Wu, C.-T. ; Agarwal, R. ; Mytych, J. ; Dimachkie, W. ; Dolny, G. ; Michalowicz, J. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium.  pp.108-115,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-26
3.

国際会議録

国際会議録
Wu, C.T. ; Ridley, R. ; Dolny, G. ; Grebs, T. ; Hao, J. ; Suliman, S. ; Venkataraman, B. ; Awadelkarim, O. ; Williams, R. ; Roman, P. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films : proceedings of the sixth International Symposium.  pp.127-133,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-7
4.

国際会議録

国際会議録
Ridley, R. ; Wu, C.-T. ; Roman, P. ; Dolny, G. ; Grebs, T. ; Stensney, F. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing : proceedings of the sixth international symposium.  pp.158-164,  1999.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-36