1.

国際会議録

国際会議録
Hergenrother, J.M. ; Nigani, T. ; Wilk, O.D. ; Klemens, F.P. ; Monroe, D. ; Sorsch, T.W. ; Busch, B. ; Green, M.L. ; Muller, D.A. ; Voyles, P.M. ; Grazul, J.L. ; Shero, E.J. ; Givens, M.E. ; Pomarede, C. ; Mazanecand, M. ; Werkhoven, C.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.929-942,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
2.

国際会議録

国際会議録
Hergenrother, J.M. ; Nigani, T. ; Wilk, O.D. ; Klemens, F.P. ; Monroe, D. ; Sorsch, T.W. ; Busch, B. ; Green, M.L. ; Muller, D.A. ; Voyles, P.M. ; Grazul, J.L. ; Shero, E.J. ; Givens, M.E. ; Pomarede, C. ; Werkhoven, M.Mazanecand C.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.929-942,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
3.

国際会議録

国際会議録
Hergenrother, J.M. ; Oh, S.H. ; Nigam, T. ; Monroe, D. ; Klemens, F.P. ; Kornblit, A. ; Baumann, F.H. ; Grazul, J.L. ; Johnson, R.W. ; King, C.A. ; Kleiman, R.N.
出版情報: Rapid thermal and other short-time processing technologies II : proceedings of the international symposium.  pp.381-392,  2001.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-9