1.
国際会議録
Lee, C. ; Lieberman, M.A. ; Graves, D.B.
出版情報:
Proceedings of the tenth symposium on plasma processing . pp.78-86, 1994. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
1994-20
2.
国際会議録
Bukowski, J.D. ; Stewart, R. A. ; Graves, D.B. ; Vitello, P.
出版情報:
Proceedings of the tenth symposium on plasma processing . pp.87-96, 1994. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
1994-20
3.
国際会議録
Daugherty, J.E. ; Graves, D.B.
出版情報:
Proceedings of the tenth symposium on plasma processing . pp.97-108, 1994. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
1994-20
4.
国際会議録
Kilgore, M.D. ; Graves, D.B.
出版情報:
Proceedings of the tenth symposium on plasma processing . pp.109-119, 1994. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
1994-20
5.
国際会議録
Bukowski, J.D. ; Stewart, R.A. ; Graves, D.B. ; Vitello, P.
出版情報:
Proceedings of the Symposium on Process control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing . pp.564-574, 1995. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
95-2