1.

国際会議録
国際会議録
1. 53. Effect of thermal annealing on mist-deposited HISiO4/SiO,/Si structures
Chong, K. ; Lee, D.-O. ; Shanmugosondoroni, K. ; Romon, P. ; Shallenberger, J. ; Wang, I. ; Mumbaner, P. ; Grant, R. ; Rusyllo, J.
出版情報: Advanced short-time thermal processing for Si-based CMOS devices : proceedings of the international symposium.  pp.429-436,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-14
2.

国際会議録
国際会議録
2. THE ROLE OF MEGASONIC ENERGY IN PARTICULATE REMOVAL FROM SILICON SUBSTRATES IN DILUTE SC1 CHEMISTRY
Kashkoush, I. ; Brause, E. ; Grant, R. ; Novak, R.
出版情報: Proceedings of the Fifth International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.168-175,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-35
3.

国際会議録
国際会議録
3. Studies of High-k Gate Dielectrics Deposited hy the Liquid Source Misted Chemical Deposition Method
Lee, D. ; Roman, P. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Horn, M. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Low and high dielectric constant materials : materials science, processing, and reliability issues : proceedings of the fifth international symposium.  pp.237-242,  2000.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-5
4.

国際会議録
国際会議録
4. Characterization of High-K Dielectrics Using the Non-Contact Surface Charge Profiler (SCP) Method
Roman, P. ; Lee, D. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Kamieniecki, E. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Low and high dielectric constant materials : materials science, processing, and reliability issues : proceedings of the fifth international symposium.  pp.187-192,  2000.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-5
5.

国際会議録
国際会議録
5. STUDY OF THE EFFECT OF SILICON SURFCE TREATMENT ON EOT IN HIGH-k DIELECTRIC MOS GATE STACK
Chang, K. ; Shanmugasundaram, K. ; Lee, D.-O. ; Roman, P. ; Shallenberger, J. ; Chang, F.-M. ; Wang, J. ; Beck, R. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium.  pp.78-85,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-26
6.

国際会議録
国際会議録
6. Selective Remote Plasma Etching of Si3N4 Over SIO2 at Elevated Temperature
Staffa, J. ; Luther, B. ; Hwang, D. ; Ruzyllo, J. ; Grant, R. ; March, D.
出版情報: ULSI science and technology, 1995 : proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Large Scale Integration Science and Technology.  pp.283-289,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 95-5
7.

国際会議録
国際会議録
7. Conditioning of Silicon Surface After RIE Using O2 and NF3 Remote Plasma
Hwang, D.K. ; Ruzyllo, J. ; Grant, R.
出版情報: ULSI science and technology, 1995 : proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Large Scale Integration Science and Technology.  pp.230-235,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 95-5
8.

国際会議録
国際会議録
8. GAS-PHASE SURFACE CONDITIONING IN A HIGH-k GATE CLUSTER
Roman, P. ; Lee, D.-O. ; Wang, J. ; Wu, C.-T. ; Subramanian, V. ; Brubaker, M. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium.  pp.241-248,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-26
9.

国際会議録
国際会議録
9. Characterization of Thin Dielectric Layers using the Non-Contact Surface Charge Profiler (SCP) Method
Roman, P. ; Lee, D.D. ; Wang, J. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Tower, J. ; Kamieniecki, E. ; Lukasiak, L. ; Ruzyllo, aud J.
出版情報: Fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase deposition II and process control, diagnostics, and modeling in semiconductor manufacturing IV : proceedings of the international symposium.  pp.207-212,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-13
10.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
10. Prediction of Gas Turbine Blade Life: An Interdisciplinary Engineering Approach for Condition-Based Maintenance.
Jin, H. ; Pistor, R. ; Lowden, P. ; Weber, B. ; Grant, R.
出版情報: A.S.M.E. paper.  2006.  New York, NY.  American Society of Mechanical Engineers
シリーズ名: ASME Technical Paper : GT
シリーズ巻号: 2006