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検索結果:
2
件
1.
国際会議録
国際会議録
1.
ArF issues of 90-nm-node DRAM device integration
Goo, D.-H. ; Kim, B.-S. ; Park, J.-S. ; Yoon, K.-S. ; Lee, J.-H. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S. ; Moon, J.-T.
出版情報:
Optical Microlithography XVI
. Part Three pp.1296-1303, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5040
2.
国際会議録
国際会議録
2.
Successful application of angular scatterometry to process control in sub-100-nm DRAM device
Kim, J.- ; Kim, S.-J. ; Chin, S.-B. ; Oh, S.-H. ; Goo, D.-H. ; Lee, S.-J. ; Woo, S.-G. ; Cho, H.-K. ; Han, W.-S. ; Moon, J.-T. ; Raymond, C.J. ; Littau, M.E. ; Youn, B.J. ; Sohn, C.-J.
出版情報:
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII
. pp.541-549, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5375
しぼり込み条件:
著者名: Goo, D.-H.
言語
英語
(2)
発行年
2000-2009
(2)
資料種別
国際会議録
(2)
著者名
Cho, H.-K.
(2)
Han, W.-S.
(2)
Moon, J.-T.
(2)
Chin, S.-B.
(1)
Kim, B.-S.
(1)
さらに…
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