1.

国際会議録
国際会議録
1. Low Temperature Deposition of Ge Thin Films for Phase Change Memory
T. Chen ; C. Xu ; W. Hunks ; M. Stender ; G.T. Stauf
出版情報: Atomic layer deposition applications 3.  pp.269-278,  2007.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 11(7)
2.

国際会議録
国際会議録
2. Novel Zirconium Precursors for Atomic Layer Deposition of ZrO2 films
T. Chen ; T.M. Cameron ; S.D. Nguyen ; G.T. Stauf ; D.W. Peters
出版情報: Atomic layer deposition applications 4.  pp.87-101,  2007.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 16(4)