1.

国際会議録

国際会議録
Cohen, S. L. ; Rath, D. ; Lee, G. ; Furman, B. ; Pope, K. R. ; Tsai, R. ; Syverson, W. ; Gow, C. ; Liehr, M.
出版情報: Ultraclean semiconductor processing technology and surface chemical cleaning and passivation : Symposum held April 17-19, 1995, San Francisco, California, USA.  pp.13-,  1995.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 386
2.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Hsu, T.R. ; Wang, J.C. ; Barez, F. ; Furman, B. ; Hsu, P. ; Reischl, P.
出版情報: A.S.M.E. paper.  1995.  New York.  The American Society of Mechanical Engineers
シリーズ名: ASME Technical Paper : WA/DE
シリーズ巻号: 1995