1.

国際会議録
国際会議録
1. BOROPHOSPHOSILICATE GLASS (BPSG) FUSION USING RAPID THERMAL ANNEALING AND STEAM REFLOW: PHYSICAL PROPERTIES AND DEVICE IMPLICATIONS
Maxim, M. ; Moinpour, M. ; Chu, J. ; Nguyen, H. ; Freiberger, P. ; Stenton, N.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing III : symposium held April 4-7, 1994, San Francisco, California, U.S.A..  pp.289-,  1994.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 342
2.

国際会議録
国際会議録
2. Development of an automated multiple-target mask CD disposition system to enable new sampling strategy [6152-58]
Ma, J. ; Farnsworth, J. ; Bassist, L. ; Cui, Y. ; Mammen, B. ; Padmanaban, R. ; Nadamuni, V. ; Kamath, M. ; Buckmann, K. ; Neff, J. ; Freiberger, P.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XX.  pp.61521K-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6152
3.

国際会議録
国際会議録
3. Mask specification for wafer process optimization [6349-42]
Chen, L. ; Freiberger, P. ; Farnsworth, J. ; Stritsman, R. ; Rodrigues, R. P.
出版情報: Photomask Technology 2006.  pp.634917-634917,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6349