1.

国際会議録
国際会議録
1. Temperature Monitoring by Ripple Pyrometry in Rapid Thermal Processing
Nguyenphu, Binh ; Oh, Minseok ; Fiory, Anthony T.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing V : symposium held April 8-12, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.291-,  1996.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 429
2.

国際会議録
国際会議録
2. Monte Carlo Simulation of Optical Temperature Sensors in RTP Systems
Cole, J. Vernon ; Knutson, Karson L. ; Fiory, Anthony T. ; Jensen, Klavs F.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing IV : symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A..  pp.143-,  1995.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 387
3.

国際会議録
国際会議録
3. In-Line Temperature Monitoring of Rapid Thermal Annealing Processes
Oh, Minseok ; Nguyenphu, Binh ; Fiory, Anthony T.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing IV : symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A..  pp.131-,  1995.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 387
4.

国際会議録
国際会議録
4. Activation Of Implanted Poly Gates By Short Cycle Time Annealing
Fiory, Anthony T. ; Bourdelle, Konstantin K.
出版情報: Si front-end processing - physics and technology of dopant-defect interactions II : symposium held April 24-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A..  pp.B3.3-,  2001.  Warrendale, PA.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 610