1.

国際会議録
国際会議録
1. THE EFFECT OF RAPID THERMAL PROCESSING ON THE ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF POLYSILICON GATE MOS CAPACITORS
Felch, Susan B. ; Hodul, David T. ; Salimian, Mak
出版情報: Rapid thermal processing of electronic materials : symposium held April 21-23, 1987, Anaheim California, U.S.A..  pp.235-240,  1987.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 92
2.

国際会議録
国際会議録
2. Rapid Thermal Process Requirements for the Annealling of Ultrashallow Junctions
Downey, Daniel F. ; Daryanani, Sonu L. ; Meloni, Marylou ; Brown, Kristen M. ; Felch, Susan B. ; Lee, Brian S. ; Marcus, Steven D. ; Gelpey, Jeff
出版情報: Rapid thermal and integrated processing VI : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.299-,  1997.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 470