1.

国際会議録

国際会議録
Fastenko, P. ; Dunham, S.T.
出版情報: Proceedings of the Fifth International Symposium of Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology.  pp.143-152,  1999.  Pennington, New Jersey.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-2
2.

国際会議録

国際会議録
Bunea, M. M. ; Fastenko, P. ; Dunham, S. T.
出版情報: Si front-end processing - physics and technology of dopant-defect interactions : symposium held April 6-9, 1999, San Francisco, California, U.S.A..  pp.135-,  1999.  Warrendale, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 568