1.

国際会議録
国際会議録
1. Comparison of TiN Thin Films Grown on SiO2 by Reactive dc Magnetron Sputtering and High Power Impulse Magnetron Sputtering
F. Magnus ; A. S. Ingason ; O. B. Sveinsson ; S. Olafsson ; J. T. Gudmundsson
出版情報: Materials, processes, and reliability for advanced interconnects for micro- and nanoelectronics--2011 : symposium held April 25-29, 2011, San Francisco, California, U.S.A..  pp.93-98,  2012.  Warrendale, PA.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 1335
2.

国際会議録
国際会議録
2. Growth of TiO₂ Thin Films on Si(001) and SiO₂ by Reactive High Power Impulse Magnetron Sputtering
F. Magnus ; B. Agnarsson ; A.S. Ingason ; K. Leosson ; S. Olafsson ; J.T. Gudmundsson
出版情報: Titanium dioxide nanomaterials : symposium held April 25-29, 2011, San Francisco, California, U.S.A..  pp.39-46,  2012.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 1352