1.

国際会議録

国際会議録
Colburn,M. ; Grot,A. ; Amistoso,M.N. ; Choi,B.J. ; Bailey,T.C. ; Ekerdt,J.G. ; Sreenivasan,S.V. ; Hollenhorst,J. ; Willson,C.G.
出版情報: Emerging lithographic technologies IV : 28 February-1 March 2000, Santa Clara, USA.  pp.453-457,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3997
2.

国際会議録

国際会議録
Colburn,M. ; Johnson,S. ; Stewart,M. ; Damle,S. ; Bailey,T.C. ; Choi,B. ; Wedlake,M. ; Michaelson,T. ; Sreenivasan,S.V. ; Ekerdt,J.G. ; Willson,C.G.
出版情報: Emerging lithographic technologies III : 15-17 March 1999, Santa Clara, California.  Part1  pp.379-389,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3676
3.

国際会議録

国際会議録
Choi,B.J. ; Meissl,M.J. ; Colbrun,M. ; Bailey,T.C. ; Ruchhoeft,P. ; Sreenivasan,S.V. ; Prins,F. ; Banerjee,S.K. ; Ekerdt,J.G. ; Willson,C.G.
出版情報: Emerging lithographic technologies V : 27 February-1 March, 2001, Santa Clara, [California], USA.  pp.436-442,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4343
4.

国際会議録

国際会議録
Wilson,P.T. ; Lee,Y.-S. ; Jiang,Y. ; Lim,D. ; Kempf,R. ; Bungener,R. ; Hu,X.F. ; Dadap,J.I. ; Anderson,M.H. ; ter Beek,M. ; Xu,Z. ; Russell,N.M. ; Ekerdt,J.G. ; Parkinson,P.S. ; Mishina,E.D. ; Aktsipetrov,O.A. ; Downer,M.C.
出版情報: Laser Techniques for Surface Science III.  pp.51-56,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3272