1.

国際会議録
国際会議録
1. Silicon Oxynitride Gate-Dielectric Made by ECR Plasma Oxynitridation
Manera, G. A. ; Diniz, J. A. ; Moshkalyov, S. A. ; Lujan, G. S. ; Doi, I. ; Swart, J. W.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.253-258,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
2.

国際会議録
国際会議録
2. Formation of Ultra-Thin Silicon Oxynitride Films by Low-Energy Nitrogen Implantation
Diniz, J. A. ; Tatsch, P. J. ; Kretly, L. C. ; Queiroz, J. E. C. ; Fo, J. Godoy
出版情報: Ion-solid interactions for materials modification and processing : symposium held November 27-December 1, 1995, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.249-,  1996.  Pittsburgh.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 396
3.

国際会議録
国際会議録
3. Selective Etching of Polycrystalline Silicon in a Hexode Type Plasma Etcher
Vieira, R. ; Martarello, V. ; Moshkalyov, S. A. ; Diniz, J. A. ; Swart, J. W.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.363-368,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
4.

国際会議録
国際会議録
4. Microwave Enhanced Silicon KOH Etching
Fischer, C. ; Diniz, J. A.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.408-415,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
5.

国際会議録
国際会議録
5. A Comparative Analysis of Electrical Characteristics of Silicon Micro-Heaters for Thermal Transducers Applications
Oliveira, A. C. Jr., ; Doi, I. ; Diniz, J. A.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.363-371,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
6.

国際会議録
国際会議録
6. Characteristics of Polycrystalline Si1-xGex Alloy Deposited in a Vertical LPCVD System
Teixeira, R. C. ; Doi, I. ; Diniz, J. A. ; Swart, J. W. ; Zakia, M. B. P. ; dos Santos Filho, S. G.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.307-312,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
7.

国際会議録
国際会議録
7. Electrical Characterization of Thin Gate Oxynitride Obtained by N+ Implantation into Polysilicon/ Thermal Oxide/ Silicon Structure
Toquetti, L. Z. ; dos Santos Filho, S. G. ; Diniz, J. A. ; Swart, J. W.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.331-338,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
8.

国際会議録
国際会議録
8. Control of Micron and Submicron Feature Dimensions in 2um Resolution Photolithographic System for MOS and MEMS Applications
Fioravante, N. P. Jr. ; Manera, L. T. ; Moshkalyov, S. A. ; Diniz, J. A. ; Tatsch, P. J. ; Grados, H. R. J. ; Doi, I. ; Swart, J. W.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.369-374,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
9.

国際会議録
国際会議録
9. Process Optimization for Microbolometers Fabrication
Neli, R. R. ; Doi, I. ; Diniz, J. A.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.357-362,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
10.

国際会議録
国際会議録
10. Silicon Oxide Sacrificial Layer for MEMS Applications
Biasotto, C. ; Boscoli, F. A. ; Teixeira, R. C. ; Ramos, A. C. S. ; Diniz, J. A. ; Daltrini, A. M. ; Moshkalyov, S. A. ; Doi, I.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.389-397,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08