1.

国際会議録

国際会議録
Johnson, S.C. ; Bailey, T.C. ; Dickey, M.D. ; Smith, B.J. ; Kim, E.K. ; Jamieson, A.T. ; Stacey, N.A. ; Ekerdt, J.G. ; Willson, C.G. ; Mancini, D.P. ; Dauksher, W.J. ; Nordquist, K.J. ; Resnick, D.J.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VII.  1  pp.197-202,  2003.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5037
2.

国際会議録

国際会議録
Burns, R.L. ; Johnson, S.C. ; Schmid, G.M. ; Kim, E.K. ; Dickey, M.D. ; Meiring, J. ; Burns, S.D. ; Stacey, N.A. ; Willson, C.G. ; Convey, D. ; Wei, Y. ; Fejes, P. ; Gehoski, K.A. ; Mancini, D.P. ; Nordquist, K.J. ; Dauksher, W.J. ; Resnick, D.J.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VIII.  pp.348-360,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5374