1.

国際会議録

国際会議録
Danel, A. ; Tardif, F. ; Kamarinos, G. ; Nguyen, M.C.
出版情報: Proceedings of the Fifth International Symposium on High Purity Silicon V.  pp.444-455,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-13
2.

国際会議録

国際会議録
Nguyen, M.C. ; Danel, A.
出版情報: Proceedings of the Fifth International Symposium on High Purity Silicon V.  pp.432-443,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-13
3.

国際会議録

国際会議録
Danel, A. ; Lardin, T. ; Kamarinos, G. ; Tardif, F.
出版情報: Proceedings of the Symposium on Crystalline Defects and Contamination, their Impact and Control in Device Manufacturing II.  pp.394-403,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-22
4.

国際会議録

国際会議録
Tardif, F. ; Joly, J.-P. ; Courteaux, A. ; Straube, U. ; Danel, A. ; Kamarinos, G.
出版情報: Proceedings of the Symposium on Crystalline Defects and Contamination, their Impact and Control in Device Manufacturing II.  pp.385-393,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-22
5.

国際会議録

国際会議録
Tardif, F. ; Raccurt, O. ; Barbe, J.C. ; De Crecy, F. ; Besson, P. ; Danel, A.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium.  pp.153-160,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-26
6.

国際会議録

国際会議録
Danel, A. ; Straube, U. ; Kamarinos, G. ; Kamieniecki, E. ; Tardif, F.
出版情報: Proceedings of the Fifth International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.400-407,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-35
7.

国際会議録

国際会議録
Perrut, V. ; Danel, A. ; Millet, C. ; Daviot, J. ; Rignon, M. ; Tardif, F.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium.  pp.246-253,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-26
8.

国際会議録

国際会議録
Millet, C. ; Daviot, J. ; Danel, A. ; Perrut, V. ; Tardif, F. ; Broussous, L. ; Renault, O.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium.  pp.271-278,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-26
9.

国際会議録

国際会議録
Shanmugasundaram, K. ; Chang, K. ; Shallenberger, J. ; Danel, A. ; Tardif, F. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium.  pp.348-355,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-26
10.

国際会議録

国際会議録
Pic, N. ; Polignano, M.L. ; Caputo, D. ; Salva, G. ; Sardo, M. ; Danel, A.
出版情報: Analytical and diagnostic techniques for semiconductor materials, devices, and processes : joint proceedings of the symposia on: ALTECH 2003, Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization IV, Paris, France and the 202nd Meeting of the Electrochemical Society, Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices VI, Salt Lake City, Utah.  pp.505-515,  2003.  Pennington, NJ.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5133