1.

国際会議録
国際会議録
1. Two-dimensional MEMS array for maskless lithography and wavefront modulation
D. Lopez ; V. A. Aksyuk ; G. P. Watson ; W. M. Mansfield ; R. Cirelli ; F. Klemens ; F. Pardo ; E. Ferry ; J. Miner ; T. W. Sorsch ; M. Peabody ; J. Bower ; C. S. Pai ; J. Gates
出版情報: Smart sensors, actuators, and MEMS III : 2-4 May 2007, Maspalomas, Gran Canaria, Spain.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6589
2.

国際会議録
国際会議録
2. Searching for hypothetical forces in the Casimir regime using a MEMS based force sensor
R. S. Decca ; D. Lopez ; D. E. Krause ; E. Fischbach
出版情報: Smart sensors, actuators, and MEMS III : 2-4 May 2007, Maspalomas, Gran Canaria, Spain.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6589