1.

国際会議録
国際会議録
1. Nitridation Enhanced Diffusion of Antimony in Bulk and Silicon-on-Insulator Material
Crowder, S.W. ; Griffin, P.B. ; Plummer, J.D.
出版情報: Proceedings of the Fourth International Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology.  pp.54-63,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-4
2.

国際会議録
国際会議録
2. OXIDATION ENHANCED DOPANT DIFFUSION IN THIN SOI FILMS
Crowder, S.W. ; Griffin, P.B. ; Plummer, J.D.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology.  pp.108-119,  1993.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1993-6