1.

国際会議録

国際会議録
Allen,R.A. ; Ghoshtagore,R.N. ; Cresswell,M.W. ; Linholm,L.W. ; Sniegowski,J.J.
出版情報: Metrology, inspection, and process control for microlithography XII : 23-25 February 1998, San Clara, California.  pp.124-131,  1998.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3332
2.

国際会議録

国際会議録
Cresswell,M.W. ; Bonevich,J.E. ; Headley,T.J. ; Allen,R.A. ; Giannuzzi,L.A. ; Everist,S.C. ; Ghoshtagore,R.N. ; Shea,P.J.
出版情報: Metrology, inspection, and process control for microlithography XIV : 28 February - 2 March 2000, San Clara, California.  pp.74-83,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3998
3.

国際会議録

国際会議録
Villarrubia,J.S. ; Vladar,A.E. ; Lowney,J.R. ; Postek,M.T. ; Allen,R.A. ; Cresswell,M.W. ; Ghoshtagore,R.N.
出版情報: Metrology, inspection, and process control for microlithography XIV : 28 February - 2 March 2000, San Clara, California.  pp.84-95,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3998
4.

国際会議録

国際会議録
Guillaume,N. ; Lahti,M. ; Cresswell,M.W. ; Allen,R.A. ; Linholm,L.W. ; Zaghloul,M.E.
出版情報: 21st Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  4562  pp.822-829,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4562
5.

国際会議録

国際会議録
Cresswell,M.W. ; Sniegowski,J.J. ; Ghoshtagore,R.N. ; Allen,R.A. ; Linholm,L.W. ; Villarrubia,J.S.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography X.  pp.659-676,  1996.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2725