1.

国際会議録

国際会議録
De Gendt, S. ; Lux, M. ; Claes, M. ; Van Hoeymissen, J. ; Conrad, T. ; Worth, W. ; Lagrange, S. ; Bergman, E. ; Jassal, A.S. ; Mertens, P.W. ; Heyns, M.M.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing : proceedings of the sixth international symposium.  pp.391-398,  1999.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-36
2.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Conrad, T. ; Bibik, A. ; Shcherbik, D. ; Lubarsky, E. ; Zinn, B.T.
出版情報: A.S.M.E. paper.  2005.  New York, NY.  American Society of Mechanical Engineers
シリーズ名: ASME Technical Paper : GT
シリーズ巻号: 2005
3.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Conrad, T. ; Lubarsky, E. ; Bibik, A. ; Shcherbik, D. ; Zinn, B.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2004.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference and Exhibit
シリーズ巻号: 40th
4.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Conrad, T. ; Lubarsky, E. ; Zinn, B. ; Bibik, A. ; Shcherbik, D.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2004.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号: 42nd