1.

国際会議録

国際会議録
Lercel,M.J. ; Brooks,C.J. ; Racette,K.C. ; Magg,C. ; Lawliss,M. ; Caldwell,N. ; Jeffer,R. ; Collins,K.W. ; Barrett,M. ; Nash,S.C. ; Trybendis,M.J. ; Bouchard,L.
出版情報: 19th Annual Symposium on Photomask Technology : 15-17 September 1999, Monterey, California.  Part2  pp.804-813,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3873
2.

国際会議録

国際会議録
Lercel,M.J. ; Racette,K.C. ; Magg,C. ; Lawliss,M. ; Collins,K.W. ; Barrett,M. ; Trybendis,M.J. ; Bouchard,L.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology VII.  pp.105-115,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4066