1.

国際会議録

国際会議録
Yang, Yuemei L. ; Cohen, Stephen M. ; D’Evelyn, Mark P.
出版情報: Chemical perspectives of microelectric materials III : symposium held November 30-December 3, 1992, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.421-426,  1993.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 282
2.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Baker, Charles E. ; Bittker, David A. ; Cohen, Stephen M. ; Seng, Gary T.
出版情報: NASA Technical Reports.  (NASA-CP-2307),  pp.1-10,  1984.  National Aeronautics and Space Administration