1.

国際会議録
国際会議録
1. Precision Resistor in a Baseline 0.18 um Copper Interconnect
Doan, M. ; Bliznetsov, V. ; Chow, Y.F.
出版情報: Semiconductor technology (ISTC 2001) : proceedings of the 1st International Conference on Semiconductor Technology.  pp.88-93,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-17
2.

国際会議録
国際会議録
2. A Correlation Study Of Thermal Stability On Porous Low-K
Chow, Y.F. ; Foo, T.H. ; Shen, L. ; Pan, J.S. ; Du, A. Y. ; Xing, Z.X. ; Yuan, Y.J. ; Li, C.Y. ; Kumar, R. ; Foo, P.D.
出版情報: Silicon materials - processing characterization and reliability : symposium held April 1-5, 2002, San Francisco, California, U.S.A..  pp.563-568,  2002.  Warrendale.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 716