1.
国際会議録
Kim,B.G. ; Choi,S.W. ; Yu,Y.H. ; Yoon,H.S. ; Sohn,J.M.
出版情報:
Photomask and X-ray mask technology IV : 17-18 April, 1997, Kawasaki, Japan . pp.42-52, 1997. Bellingham, Washington. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
3096
2.
テクニカルペーパー
Choi,S.W. ; Chang,K.S. ; Ok,H.
出版情報:
AIAA paper . pp.1-10, 2001. American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名:
AIAA Paper : Aerospace Sciences Meeting and Exhibit
シリーズ巻号:
2001
3.
国際会議録
Kim,Y.H. ; Park,J.H. ; Lee,K.H. ; Choi,S.W. ; Yoon,H.S. ; Sohn,J.M.
出版情報:
Photomask and X-Ray Mask Technology V . pp.455-462, 1998. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
3412
4.
国際会議録
Sohn,J.M. ; Choi,S.W. ; Kim,B.G. ; Cho,H.K. ; Yoon,H.S.
出版情報:
Photomask and X-Ray Mask Technology III . pp.2-11, 1996. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
2793
5.
国際会議録
Cha,B.C. ; Choi,S.W. ; Kim,J.M. ; Cho,H.J. ; Sohn,J.M.
出版情報:
Photomask and X-Ray Mask Technology III . pp.53-61, 1996. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
2793