1.

国際会議録
国際会議録
1. Fibroid Sorbents for Water Purification
Khaydarov, R. A. ; Gapurova, O. ; Khaydarov, R. R. ; Cho, S. Y.
出版情報: Modern tools and methods of water treatment for improving living standards.  pp.101-108,  2006.  Dordrecht.  Springer
シリーズ名: NATO science series. Series 4, Earth and environmental sciences
シリーズ巻号: 48
2.

国際会議録
国際会議録
2. EUV mask pattern inspection for memory mask fabrication in 45-nm node and below [6349-95]
Kim, D. Y. ; Cho, S. Y. ; Kim, H. ; Huh, S. M. ; Chung, D. H. ; Cha, B. C. ; Lee, J. W. ; Choi, S. W. ; Han, W. S. ; Park, K. H. ; Kim, E. J. ; Guo, Z. ; Quach, E. ; Gee, D. ; Brown, T.
出版情報: Photomask Technology 2006.  pp.63492L-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6349
3.

国際会議録
国際会議録
3. Feasibility study of mask fabrication in double exposure technology [6349-67]
Doh, J. G. ; Lee, S. H. ; Yoon, J. B. ; Lee, D. Y. ; Cho, S. Y. ; Kim, B. G. ; Choi, S. W. ; Han, W. S.
出版情報: Photomask Technology 2006.  pp.63491U-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6349